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摘要
介绍了自主研制的单聚焦小型磁偏转质谱计物理单元和电路系统的设计参数及结构组成。对单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围、分辨率和灵敏度进行了校准实验研究。研究结果表明,单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围为1～134 amu,相对分辨率为35,电子倍增器模式下N2、Ar和He的灵敏度分别为1.6×10-4A/Pa、1.2×10-4A/Pa和2.3×10-5A/Pa。研制的单聚焦小型磁偏转质谱计在真空检漏和质谱分析领域具有广泛应用需求。
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介绍了自主研制的单聚焦小型磁偏转质谱计物理单元和电路系统的设计参数及结构组成。对单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围、分辨率和灵敏度进行了校准实验研究。研究结果表明,单聚焦小型磁偏转质谱计的质量数范围为1～134 amu,相对分辨率为35,电子倍增器模式下N2、Ar和He的灵敏度分别为1.6×10-4A/Pa、1.2×10-4A/Pa和2.3×10-5A/Pa。研制的单聚焦小型磁偏转质谱计在真空检漏和质谱分析领域具有广泛应用需求。
