摘要
对一种电磁式微腔体混合器的设计、制作及实验进行了研究.从提高其混合性能出发,对混合器进行了动力学分析,得出了适于快速混合的振动模式.结果表明,混合效果是由驱动频率及振幅共同决定的.利用模压工艺制作出适于光学探测的聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合器.利用DE-LIGA工艺制作出的平面线圈,具有结构紧凑,不易脱落等优点.设计的微混合芯片由PDMS混合器、永磁体、光学透镜、平面线圈、微型光谱仪等混合集成,并对振动膜厚度为50 μm的φ6 mm混合器进行定量检测,当混合量为150μL时,动态混合能在5 s内完成.
-
单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 吉林大学