高熵合金涂层的磁控溅射制备及性能研究进展

作者：刘鑫; 王彦龙^*; 闫贞; 王金龙

来源：热加工工艺, 2022, 51(06): 17-25.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.20202543

• 高熵合金
• 涂层
• 磁控溅射
• 性能

高熵合金涂层以其优异的性能近年来得到深入研究，其中磁控溅射制备技术因其独有的优势而被广泛应用。论述了磁控溅射法制备高熵合金的工艺调控，分析了高熵合金涂层的力学、耐腐蚀及抗氧化等性能特点，并对其应用前景进行展望，促进磁控溅射法制备高熵合金涂层的研究及应用。

• 单位
  西安工程大学