阳极键合的电学分析

作者：刘子建

来源：中国高新区, 2018, (02): 79.

• 阳极键合
• 电学机理
• RC回路

本文从电学角度对阳极键合的结合机理进行解释,键合原因就是在外加电压作用下,介质极化,产生一个强大的电场,在强电场作用下,离子迁移、扩散形成键合,键合电路可以简化成一个RC回路。

• 单位
  辽宁工程职业学院