压力传感器在使用时难免受时间和地域的影响而产生一些漂移。介绍了一种高频相对压力传感器的标定方法,分析了相对压力传感器的测量原理和误差来源,详述了实验的标定方案,验证了标定后的相对压力传感器的重复性。实验结果表明,标定后的相对压力传感器的重复性5min的3σ均值为0.128 Pa,能很好地应用于双频激光干涉仪测量系统,该方法可被广泛应用。
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