太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究

作者：翟荣锭; 吴倩楠^*; 王俊强; 苏宁宁; 李孟委

来源：电子测量技术, 2023, 46(03): 6-11.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.2210572

• 石墨烯
• 氧化铝薄膜
• 温度传感
• 太赫兹

设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器，可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度，得到大量程、高灵敏度的太赫兹MEMS高温传感器的特征尺寸。结果表明：该温度传感器在3.0～5.0 THz频段内，测温范围可从25℃～1 050℃,灵敏度为0.259 GHz/℃,整体体积为20μm×21μm×14.5μm。该传感器具有优异的传感性能和较大的测温量程，可为高温环境下的航空发动机、火箭发射系统、恶劣环境监测等系统的测温提供一种技术方法。

• 单位
  物理学院; 中北大学