一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法

作者:王利明; 尤杰; 孙浩; 张一弛; 元磊; 胡辉勇; 王斌; 韩本光; 舒斌
来源:2020-07-27, 中国, ZL202010733216.4.

摘要

本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法,该制备方法包括:选取清洗完成的玻璃衬底;在所述玻璃衬底上制备电极阵列,所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极;将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上,以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜;将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上,以制备Ge量子点薄膜;在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构,可以将两种材料的优势相结合,本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。