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摘要
针对浮雕光栅实际加工的光栅形貌与理论设计形貌存在差异的情况,提出从傅里叶级数的角度去分析光栅结构,探讨光栅傅里叶级数展开式中各空间频率分量对其结构和衍射效率的影响,试图在保证高衍射效率的同时,降低光栅的制备难度。对常见的周期性浮雕光栅进行傅里叶级数展开,减少高频分量,代入仿真软件建模并计算其衍射效率。仿真结果表明:对于矩形光栅,光栅陡直度为46.3°时即可满足最高衍射效率要求;而对于直角三角光栅,光栅陡直度为80.4°并且光刻分辨率不低于300 nm时才可满足最高衍射效率。针对不同结构的浮雕光栅,在满足最高衍射效率时保留的高频含量是不同的,文中提出的分析方法能帮助设计者根据具体的光栅结构,提出加工精度要求,制定具体加工方案,降低加工制备难度。
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