基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究

作者：李俊红; 汪承灏; 刘梦伟; 马军; 魏建辉

来源：机械工程学报, 2012, (18): 85-88.

• 微机电系统
• 压电微传声器
• 圆形振动膜
• 分割电极 Micro-electro-mechanical systems(MEMS) Piezoelectric microphone Circular diaphragm Segmenting electrodes

为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩散技术,增加圆形围墙的厚度,避免了振动膜的"软"支撑问题;振动膜采用Si3N4/SiO2/Si3N4复合结构,减少振动膜的内应力;采用电极分割串联技术,传声器被分割成在声学上并联、在电学上串联的若干部分,以期提高MEMS传声器的灵敏度。在结构优化的基础上,利用MEMS技术制备压电微传声器,所制备传声器振动膜平坦、无褶皱,成品率有了明显提...

• 单位
  声场声信息国家重点实验室; 中国科学院声学研究所