静态膨胀法校准压力的温度修正

作者：孙海; 张涤新; 李得天; 成永军; 赵澜

来源：真空与低温, 2005, (02): 104-107.

• 真空校准
• 静态膨胀法
• 温度修正

用传统方法计算静态膨胀法校准压力时,通常假设气体膨胀过程是等温的,但这与实际并不相符。考虑到气体温度变化,给出了对校准压力进行温度修正的方法。用一只满量程为133.3Pa的绝压式电容薄膜规(ACDG)进行了校准实验,当校准室的最大温度变化为0.05℃时,温度修正前后校准曲线的最大偏移量为0.16%。