关于改进四探針头的几点建议

作者：周映芬; 申浩

来源：河南科技, 2013, (21): 68+79.

• 四探针头
• 弹簧片
• 模具
• 连接件
• 检测 Four-point probe
• spring piece
• mold
• connector
• test

四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段。介绍四探针探头的测试原理,在测试中影响四探针头性能的几个问题:弹簧片的结构存在不足,锥头与铜套配对容易错位,测试架连接件结构对测量的不良影响,以及检测探头参数的方法繁琐等,提出应对的改进方法。

• 单位
  广州半导体材料研究所