黑磷纳机电谐振器的栅极响应有限元分析

作者：程屹山; 刘文耀; 李伟; 唐军; 刘俊

来源：国外电子测量技术, 2021, 40(07): 59-64.

DOI：10.19652/j.cnki.femt.2102608

• 纳机电谐振器
• 黑磷
• 有限元
• 谐振频率

纳机电系统因其体积小、批量制造、高可靠性和低功耗等性能得到了广泛的关注与开展,其中,纳机电谐振器因具有高频、高可调谐性而显示出了巨大的应用前景。利用有限元分析法(FEM),对基于黑磷材料的纳机电谐振器的栅极可调谐性进行了详细的研究,通过改变黑磷的内置张力、吸附物的质量、厚度、空腔深度以及固定边的方向,探究了其对谐振器的谐振频率与可调谐性的影响。结果表明,谐振频率是由栅极电压引起的静电驱动力来调节,当黑磷的内置张力与表面的吸附物质量越小,谐振器的可调谐性越好,但是,对于高频范围的谐振器,内置张力不可过小。固定边方向沿锯齿形(zigzag)相比于沿扶手椅形(armchair)将获得更高的谐振频率与调谐范围。

• 单位
  中北大学