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摘要
大气压低温等离子体富含高活性粒子,在生物医学、薄膜沉积、环境治理等领域表现出巨大的潜在应用价值。为此,针对不同频率正弦交流电压下大气压氦气平行平板型介质阻挡放电(DBD),开展其放电行为和基本特性的研究,包括放电电流峰值、放电功率、气隙的首次和稳态击穿电压、发射光谱及其微秒放电图像。研究发现:随着频率的增加,更易获得稳定均匀的He DBD,同时,稳态击穿电压略有下降,首次击穿电压则有所提升;当驱动频率高于一定值时,DBD出现了正负放电不对称和倍周期等非线性行为。进一步对微秒曝光图像和发射光谱的研究表明:在1090 kHz范围内,He DBD均为大气压辉光放电;与激发态N2和N2+相比,激发态OH谱线强度随着频率具有明显的增长趋势。
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单位西安交通大学; 电力设备电气绝缘国家重点实验室
