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摘要
双闭环Interbay物料运输系统是300 mm晶圆制造系统至关重要的组成部分。为在设计阶段快速有效分析其运行性能，本文提出了一种扩展马尔可夫模型。该模型充分考虑了运输小车在外环、内环和捷径导轨关键节点的运行、堵塞、装卸晶圆卡等系统状态，抑制了多运输小车运行环境下的模型状态空间规模爆炸，提高了性能分析模型的准确性与运算效率。采用某晶圆制造企业实际生产数据，将扩展马尔可夫模型与仿真模型进行比较。结果表明：两者在空载运输小车到达时间间隔、系统搬运能力和运输小车利用率等关键指标方面相对误差值较小；扩展马尔可夫模型明显具有更高的分析效率。由此验证了提出的扩展马尔可夫模型用于双闭环Interbay系统性能分析是有效的。
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