光纤光栅外腔激光器光学薄膜的研制

作者：游道明; 谭满清; 郭文涛; 曹营春; 王子杰; 杨秋蕊; 万丽丽; 王鑫; 刘珩

来源：中国光学(中英文), 2023, 16(2): 447-457.

DOI：10.37188/CO.EN.2022-0010

• 外腔激光器
• 光学薄膜
• 时域有限差分
• 腔面镀膜

腔面光学薄膜是光纤光栅外腔激光器(ECL)的关键结构,平面波方法(PWM)被广泛应用于腔面光学薄膜的设计,然而该设计在ECL中的实际应用效果往往并不理想.本文在使用PWM方法时通过时域有限差分法分析其中的原因, 并考虑腔面尺寸和结构影响.仿真结果显示,PWM设计存在反射率差和反射曲线偏移等问题,实际的反射特性显著偏离设计值.因此本文重点优化了薄膜设计,并采用磁控溅射工艺镀膜.测量结果显示,优化后增透膜的反射率降低了30％,高反膜反射率增至96％以上,所制备的ECL的光纤输出功率超过650 mW.本文研究结果为ECL和其他半导体光电子器件的腔面光学薄膜研制提供了参考.

• 单位
  中国科学院大学; 集成光电子学国家重点实验室