球面栅网几何要素的精密测量

作者：王建; 李飞; 刘柳萍

来源：光学精密工程, 2020, 28(09): 1939-1949.

• 球面栅网
• 几何要素
• 精密测量
• 电子光学

为了实现球面栅网零件几何要素的精密测量,快速筛选出满足电子光学设计要求的合格零件。对测量设备与附件的特点、零件的设计要求、加工工艺带来的常见超差问题进行研究。根据零件的测量要素,从测量效率和精度的角度考虑,选择了加装激光辅助对焦系统的影像测量仪。编写了自动测量程序,自动将粗定位定向转为精准定位定向,完成了零件全部几何要素的自动测量。针对"大半径、小圆弧"的测量难点,进行了量化分析和计算,得出了曲率半径测量结果不确定度的计算公式。最后,讨论了测量不确定度的来源,提出了抑制各误差源的方法。实际应用时,利用上述影像仪完成了栅网零件的曲率半径SR、栅网球面的面轮廓度、环向栅丝同心度、径向栅丝圆分度α、全部栅丝宽度WR和WC、端面外径及其圆度、端面平面度的自动精密测量。测量时间约为传统方式的2/3,测点数量达2 094个,远高于手动测量方式。

• 单位
  中国科学院