MEMS加速度计的发展趋势研究

作者：倪烨; 张怀武; 钟智勇

来源：硅谷, 2010, (19): 24.

• MEMS
• SOI
• 加速度计

基于MEMS新型惯性传感器件的基础理论与结构设计研究,建立基于SOI材料的电容式MEMS加速度计模型理论,并总结出国内外MEMS加速度计的发展趋势,为其进一步研究提供一定的理论依据。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室