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摘要
针对电涡流位移传感器电路结构复杂、线性度低等问题，采用数字锁相放大技术来测量传感器线圈损耗，再通过线圈损耗测量位移大小。充分利用了STM32F3系列单片机的片内资源：片内数模转换器与DMA控制器配合产生激励信号，模数转换器与DMA控制器配合采集信号，浮点运算器运行数字锁相放大器算法，最后用片内数模转换器输出线性校准后的数值，实现了一种新型的电涡流位移传感器。传感器的电路简洁，线性度优于0.51%,动态响应时间小于2 ms。
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单位广东省科学院
