一种具有n型隐埋载流子存储层的BRT新结构

作者:张超*; 王彩琳; 刘园园; 杨武华; 苏乐
来源:固体电子学研究与进展, 2023, 43(04): 306-310.
DOI:10.19623/j.cnki.rpsse.2023.04.013

摘要

提出了一种具有n型隐埋载流子存储层的基极电阻控制晶闸管(BRT)新结构。利用TCAD仿真软件对其工作机理和静态特性进行了分析,并与双栅BRT进行了性能对比。结果表明,新器件导通时会产生电子注入增强效应,由绝缘栅双极晶体管模式快速转换成晶闸管模式,当n型隐埋层浓度为8×1015 cm-3,隐埋层与p基区相接并与p++分流区距离接近时,能够有效抑制器件中的电压折回现象,获得良好的导通特性。新器件的导通压降为3.84 V,比传统器件减少了26%。

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