Al-O_2反应溅射中总气流量与溅射功率对临界靶过渡模式影响

作者：刘光诒

来源：太阳能, 2013, (23): 8-11.

• 反应溅射
• 等离子体发射强度
• 靶电压
• 临界状态关键词:

反应溅射是制造化合物薄膜最通用的一种技术,至关重要的是靶由金属模式过渡到氧化物模式的临界条件。我们研究了Al-O2反应溅射过程中,总气体流量与溅射功率对临界靶过渡模式的影响。发现在临界条件下,溅射出的Al原子数(N Al)与供给的O原子数(N o)之比几乎是常数,N Al/N o接近于Al2O3的理想化学配比(2:3)。因而可认为,导入的氧几乎完全被Al原子结合,靶仍处于临界条件以下,仍为金属模式。提高供给的O原子量至超过Al2O3的理想化学配比,则输入的氧量超过反应结合效应的氧量,等离子体中氧的浓度突然提高,靶的模式由金属模式变为氧化物模式。

• 单位
  中国科学院