螺旋波等离子体源中离子能量及其诊断

作者：姜开银; 杨丽珍; 刘忠伟; 张海宝; 陈强^*

来源：真空, 2021, 58(04): 67-76.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.04.13

• 螺旋波
• 结构
• 原理
• 离子能量分布
• 应用进展

介绍了一种具有广泛应用前景的新型等离子体源—螺旋波等离子体源,其特点是结构简单,可以产生高密度的等离子体。论文首先简述了螺旋波等离子体产生基本原理,并对螺旋波等离子体源的结构、加热机制以及天线形式与其能量耦合方式进行了介绍。然后,概述了螺旋波等离子体源的特性和诊断方式,主要介绍迟滞能量分析仪(RFEA)对螺旋波等离子体中的离子能量分布(IED)诊断,并对影响IED的因素进行分析。随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积以及电推进三个领域的应用进展。最后指出螺旋波等离子体源的未来发展以及存在的一些问题。

• 单位
  北京印刷学院