浮栅存储器是一种重要的微电子器件,已得到了广泛的应用。为了使学生在微观尺度下观察和研究浮栅存储结构的存储特性,设计了基于开尔文力显微镜(KFM)的探究性实验。实验内容包括试样准备、KFM测试和结果与讨论等,最后根据KFM测试结果与半导体器件物理知识,定量分析出存储电荷的面密度大小。该实验有助于加深学生对浮栅存储器工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力。
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