溅射电流对烧结NdFeB磁体表面磁控溅射铝防护层耐蚀性能的影响

作者：钱尼健; 严长江^*; 俞潮杰

来源：磁性材料及器件, 2019, 50(06): 18-35.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2019.06.005

• 烧结钕铁硼磁体
• 磁控溅射
• 纯铝镀层
• 耐腐蚀性能
• 结合力

采用磁控溅射技术在烧结NdFeB磁体上镀覆一层纯铝防护层。利用盐雾机、万能试验拉伸机分别表征防护层的耐腐蚀性能和镀层与基体的结合力,同时分析溅射电流对镀层耐腐蚀性能的影响。结果表明,铝膜厚度为11μm的样品,纯铝镀层晶粒均匀,大小为1～2μm,镀层表面致密且无明显缺陷,在中性盐雾气氛中96h才出现红锈,镀层与基底的结合力23.47 MPa。薄膜沉积过程中适当地提高溅射电流可提高膜层的质量。