基于管式PECVD镀膜时间的防错程序设计与应用

作者：郭丽; 武纹平; 陈丽

来源：山西化工, 2018, 38(06): 108-113.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2018.06.36

• 管式PECVD
• 沉积时间DLV
• 防错
• 程序

针对太阳能电池镀膜工艺中的沉积时间DLV手动录入易出错问题,提出了沉积步骤优化设计方案。该方案补充了DLV防错程序,使得操作员第一时间发现异常报警能及时处理,有效地降低了人为错误而导致产线的不合格率。