采用HCl-HNO3-HF-H2SO4湿法溶解不同类型的地质样品,以0.5%H2SO4-0.5%HNO3为介质,103Rh1、87Re为内标校正仪器漂移和降低基体效应,在ICP-MS中测定15个稀土元素,检出限低,各元素的DL在0.004~0.019μg/L之间;基体效应小,内标法和外标法无显著差异;标准样品结果与参考值吻合。同时适合少量或大批量样品的稀土元素分析。