64×64 InGaAs/InP三维成像激光焦平面探测器

作者：李潇; 石柱; 代千; 覃文治; 寇先果; 袁鎏; 刘期斌; 黄海华

来源：红外与激光工程, 2018, 47(08): 117-121.

• 焦平面阵列
• 线性模式
• 铟镓砷
• 飞行时间测距
• 三维成像

针对9001 700 nm波长无扫描激光三维成像雷达的需求,研制了一种规模为64×64的线性模式雪崩焦平面阵列(LM-APD-FPA),它由InGaAs/InP雪崩光电二极管阵列与CMOS专用读出电路(ASIC)组成。该器件采用飞行时间(TOF)测距的方式工作,APD光敏芯片将脉冲激光信号转化成脉冲光电流,读出电路对其进行放大、阈值比较后实现激光探测并在每个单元获取光脉冲的飞行时间,将其转化成二进制编码信号后串行输出。测试结果表明,64×64 LM-APD-FPA有效像元最小可探测光功率值约为400 nW,时间分辨率为1 ns。用该探测器在激光雷达系统上实现了无扫描单脉冲激光三维成像,表明了线性模式激光焦平面探测器可用于激光三维成像领域。

• 单位
  西南技术物理研究所