氧化铈及其复合磨料的研究进展

作者：邹兰梅

来源：安徽化工, 2021, 47(01): 13-16.

DOI：10.3969/j.issn.1008-553X.2021.01.005

• 氧化铈
• 复合磨料
• 化学机械抛光
• 制备

介绍了氧化铈及其复合磨料的主要制备方法,描述了该材料在化学机械抛光(CMP)应用中的研究进展。针对当前研究所面临的问题进行简要分析,并展望了其今后的研究方向。

• 单位
  合肥工业大学