在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜。实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键。通过改变衬底温度(400～700℃)和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构。SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异。XRD显示,600～700℃结晶良好。
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