密封器件内部水汽和氢气超标会导致器件参数漂移、电性能退化、可靠性降低，这将给整机的质量可靠性带来潜在的危害。针对密封器件内部水汽和氢气的控制，本文从气密性、封装工艺、封装材料、封装环境方面讨论了内部气氛的来源，并阐述了内部水汽和氢气对器件的潜在危害。为控制密封器件内部水汽和氢气，本文从过程控制出发提出了一些合理化建议，进而为内部气氛的深入研究提供参考。
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