为拓展有阀压电泵的应用,开发了输出性能优于传统有阀压电泵的螺旋线形阀压电泵,同时设计了单臂螺旋线形弹性固支阀和旋转对称(双臂)螺旋线形固支阀两种结构形式。首先介绍了两种结构阀压电泵及阀的结构,然后比较了两种泵的流量公式,结合实验结果分析了当流体密度、黏度及阀材料的切变模量、阀的曲臂宽和曲臂厚等参数变化时,两种阀的适用性。结果显示当流体密度ρ1和运动黏度υ、阀材料的切变模量G、阀曲臂厚b较大时,可优先选用双臂阀压电泵,当阀曲臂宽a较大时可优先选用单臂阀压电泵。
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