本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造,通过加装CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理,并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算,得到被测平晶的平面度。经实验验证,改造后的干涉仪满足了对?150mm以下的一、二级平晶的检定要求,适用于计量部门对平晶进行检定。
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