摘要

<正>《真空科学与技术学报》是由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,月刊,国内外公开发行。本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容