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摘要
太赫兹频段以其高分辨率和轻小型化等特点，在电子、信息、国防和航天领域拥有巨大的应用前景。以448 GHz太赫兹喇叭的芯模为研究对象，针对此类微细窄槽结构，进行加工工艺研究。通过装夹方式对受力的影响分析，优化加工过程中的装夹方式，减少径向切削力对同轴度和尺寸精度的影响;针对细微窄槽的加工，设计成型刀具，减少机床重复定位误差对窄槽精度影响;建立切削过程仿真模型优化切削参数，降低切削力，;优化走刀路径，加强切削系统的刚性，以减小变形。通过试切对工艺方案进行验证，完成了在直径φ0.65～φ3.52 mm的锥形结构上均布宽0.1±0.005 mm，单边深度0.33 mm，间隔0.2 mm，即中间隔片厚度0.1 mm的窄槽加工。从而解决此类高精度微细结构加工难题，为更高频段太赫兹喇叭加工提供工艺经验。
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单位中国空间技术研究院
