<正>轴承、编码器和驱动装置等机械零部件通常会直接安装于集成式大理石运动系统(IGM)中大理石平台或龙门结构中。因此,IGM系统有别于传统大理石平台方案,传统的方案在系统设计中要考虑到分散的平台零部件。Aerotech可定制IGM系统以满足独特的工艺需求。IGM系统可设计为机械或空气轴承、滚珠丝杠或直线电机,反馈可有多种设计如编码器和激光干涉仪等。其他的运动轴,如旋转、Z轴或压电平台,甚