化学气相沉积不同碳氮比MT-Ti(C,N)涂层

作者：邹伶俐

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2018, 38(04): 56-60.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2018.4.0011

• 中温涂层
• 柱状晶
• 结合力
• 纳米硬度

采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同碳氮比的MT-Ti(C,N)涂层,通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、能谱仪(EDS)和纳米硬度仪、划痕仪分别对其微观组织和机械性能进行分析。研究结果表明:碳源对MT-Ti(C,N)涂层中的碳氮比起着至关重要的作用;其中,在现有单一的乙腈(CH3CN)中温化学涂层反应体系中,引入C2H4可以有效提高MT-Ti(C,N)涂层的碳氮比,且随着碳氮比的增大,MT-Ti(C,N)涂层的晶粒得到明显细化。与此相对应的纳米硬度、弹性模量和结合力也随C/N比发生显著变化。