氧化锌薄膜晶体管的光诱导不稳定性

作者：王聪; 刘玉荣; 李星活; 苏晶; 姚若河

来源：华南理工大学学报(自然科学版), 2013, (06): 11-16.

• 薄膜晶体管
• 氧化锌
• 光诱导
• 稳定性 thin film transistors
• zinc oxide
• photoinduction
• stability

为促进氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT)在有源驱动平板显示领域中的实际应用,以高纯氧化锌(ZnO)为靶材,采用射频磁控溅射法沉积ZnO薄膜作为半导体活性层,制备出ZnO-TFT,研究了可见光诱导引起的器件特性的不稳定性.实验结果表明:在可见光照射下,该ZnO-TFT器件呈现出一定程度的不稳定性;随着光照强度的增加,迁移率稍有增大,阈值电压有微弱的减小;漏电流的相对变化量受栅电压控制,即在开态时相对变化量较小,对于2210 lx的照射强度,相对变化量的最小值为0.58,而在亚阈值区和关态时,漏电流受光照强度的影响较大,在相同强度的光照射下相对变化量的最大值为36.29.对可见光诱导不稳定性恢复过...

• 单位
  华南理工大学; 汕尾职业技术学院