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摘要
碱催化溶胶-凝胶多孔SiO2减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO2减反膜为基础,通过提拉法在其表层涂覆致密的SiO2薄层后得到机械强度提升的双层SiO2减反膜（SiO2-MTES）,并与常用的单层氨固化SiO2减反膜（SiO2-HMDS）进行相关应用性能的综合比较。结果表明,涂覆SiO2-MTES的熔石英在约800 nm处的峰值透过率大于99.6%,运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该双层SiO2减反膜的零几率激光损伤阈值为51.9 J/cm2（1064 nm, 9.1 ns）,与涂覆SiO2-HMDS的性能相当。同时, SiO2-MTES膜层与水的接触角达到117.3°,且在相对湿度大于90%的高湿环境中膜层的透过率较稳定。多次擦拭实验结果表明SiO2-MTES的耐摩擦机械强度明显优于SiO2-HMDS,有效提升了膜层与光学元件之间的结合强度。
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