铌酸钾锂铁电薄膜的脉冲激光沉积与光学性能

作者：詹祖盛; 公衍生; 王传彬; 沈强; 张联盟

来源：人工晶体学报, 2008, (02): 297-300.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2008.02.036

• 铌酸钾锂
• 薄膜
• 脉冲激光沉积技术
• 透过率 potassium lithium niobate
• films
• pulsed laser deposition(PLD)
• transmittance

以K2CO3、Li2CO3和Nb2O5为原料,采用固相反应法制备了铌酸钾锂陶瓷;以此为靶材,采用脉冲激光沉积技术在石英玻璃上沉积了铌酸钾锂薄膜,系统研究了沉积温度对铌酸钾锂薄膜组成与结构的影响。利用X射线衍射、拉曼光谱等测试手段对薄膜的结构进行表征,通过紫外-可见光分光光度计测试薄膜的光学透过率。结果表明:所制备的铌酸钾锂靶材结构致密;在衬底温度为700℃、氧分压10 Pa的条件下可以制备纯的铌酸钾锂薄膜,所得到的多晶薄膜呈(310)取向;光学性能测试显示所制备的铌酸钾锂薄膜在可见光范围内的光学透过率为90%左右。

• 单位
  材料复合新技术国家重点实验室; 中国地质大学（武汉）; 武汉理工大学