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摘要
作为空间化合物太阳电池的主要衬底材料,锗抛光片对表面质量要求较高。锗片干燥阶段,采用清洁、高效的Marangoni干燥技术可避免采用传统甩干技术造成的锗片表面沾污和边缘损伤。然而锗片在Marangoni干燥过程中易产生干燥缺陷。本文分析了干燥过程中缺陷产生的原因,研究了主要影响表面质量的提拉速率和氮气吹扫时间,认为锗片Marangoni干燥应采用较慢的提拉速率和适中的氮气吹扫时间,以减少表面和边缘干燥缺陷的产生。对经过Marangoni干燥的锗片进行表面雾值分析和外延生长验证,锗片经过Marangoni干燥表面未发生变化。实验结果表明,Marangoni干燥技术可用于干燥锗抛光片。
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单位中国电子科技集团公司第四十六研究所
