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摘要
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统,实现了对0～200 Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193 nmArF和248 nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4 ms、分辨率10μl、灵敏度0.5 V/mJ、精度±3%。本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术。
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单位中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所
