基于在机器视觉测量平台下通过连续光照明获得的微机电系统动态模糊图像,本文提出了一种混合分形和Sigmoid拟合的亚像素图像边缘检测算法。利用分形插值的自相似特性,获得高精度插值的、包含图像细节的重构斜坡型边缘。采用符合该边缘灰度分布特征的Sigmoid函数模型进行拟合,充分利用灰度信息实现高精度检测。实验结果表明该算法可以对该类图像进行高精度快速检测。