<正>目前,半导体器件被广泛应用于智能手机、汽车等各个领域,在其制造过程中半导体光刻机必不可少。1970年,佳能发售了日本首台半导体光刻机PPC-1,正式进入半导体光刻机领域。随着数字化的发展,佳能不断地升级其半导体光刻机,并根据半导体制造业对设备进化的要求逐步推出其他类型的设备。佳能光刻机的历史始于对相机镜头技术的高度灵活运用。20世纪60年代中期基于在相机镜头开发中积累的技术,
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