微波冻干过程中击穿放电的因素分析及改进措施

作者：张瑜; 张义; 张琦远; 彭小树; 曾涛

来源：真空电子技术, 2018, (04): 66-72.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.15

• 击穿放电
• 帕邢定律
• 功率密度
• 真空
• 驻波

介绍微波冻干中击穿放电和原理分析,针对一些主要的问题提出了一种复合式冻干仓结构的微波冻干装置,并与旧有的微波冻干设备进行实验对比,实验证明:在微波冻干装置中采用复合式冻干仓结构,可以显著地降低击穿放电概率,使装置连续稳定运行。