摘要

InGaAs光电探测器广泛应用于短波红外检测。在InGaAs中掺入Bi可以减小带隙,延长探测波长。通过控制In和Bi的组分可使Iny Ga1-yAs1-xBix与InP晶格匹配,同时,扩展探测波长至3μm以上。设计并研究了In0.394Ga0.606As0.913Bi0.087 p-i-n光电探测器的光电性能。计算了不同温度、吸收层厚度和p(n)区掺杂浓度下的暗电流和响应率特性。获得了3μm的截止波长。该结构为拓展InP基晶格匹配的短波红外探测器的探测波长提供了一种可行的方法。