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摘要
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾，本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器，将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型，得到了灵敏度特性与耦合度的关系，分析对比了耦合度分别为10%和20%时的微波特性及灵敏度特性差异。实验结果表明：两种耦合式MEMS微波功率传感器的反射损耗均小于-20 dB,说明具有良好的反射性能；两种耦合式MEMS微波功率传感器的插入损耗均大于-1.5 dB,说明具有良好的传输性能。耦合度10%的系统灵敏度为1.2 mV/W@9 GHz、1.4 mV/W@10 GHz和0.8 mV/W@11 GHz,耦合度20%的系统灵敏度为2.4 mV/W@9 GHz、2.4 mV/W@10 GHz和1.3 mV/W@11 GHz,并具有良好的线性度。本文对于MEMS微波功率传感器研究具有一定的参考价值。
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