ΣΔ微加速度计中基于脉宽调制的力反馈回路

作者：陶呈瑶; 邓康发

来源：传感技术学报, 2013, (12): 1704-1709.

• 微加速度计
• 接口电路
• ΣΔ
• 数模转换器
• 脉宽调制 micro-accelerometer
• sigma-delta
• digital to analog converter
• pulse width modulator

针对微加速度计接口电路的Sigma-Delta(ΣΔ)数字反馈系统,提出了一种基于脉宽调制(PWM)的力反馈回路:利用模拟低通滤波器将PWM波解调成模拟输出信号,具有滤波和数模转换功能。首先建立微加速度计ΣΔ闭环反馈系统的Simulink模型并进行了系统级仿真。之后采用Filter Solutions滤波器设计软件确定三阶低通巴特沃斯滤波器,并采用Pspice仿真软件进行电路级仿真。最后将制作的PCB版电路进行测试:PWM波通过力反馈回路能还原成高保真度的模拟信号,输出信号和输入信号的频率相对误差小于0.36%,等效DAC分辨率为8 bit。试验表明,此方案结构简单、成本低,能以较低电路复杂度...

• 单位
  中国科学院地质与地球物理研究所; 中国科学院大学