硬盘用压电厚膜微致动器的制作及有限元分析

作者：荆阳; 雒建斌; 张学恒; 张力

来源：北京理工大学学报, 2004, (12): 1045-1048.

DOI：10.15918/j.tbit1001-0645.2004.12.004

• 硬盘驱动器
• 流延技术
• 微致动器
• PMN-PZT
• 压电厚膜 hard disk drives
• tape-casting technology
• micro-actuator
• PMN-PZT
• piezoelectric thick-film

设计、制作并分析了一种用于高密度硬盘磁头精确定位的新型压电厚膜微致动器.采用流延技术制备PMN-PZT多层膜元件,使用丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极,并对其进行了有限元建模和仿真.仿真结果表明,当采用4层结构的压电厚膜微致动器时,在外加电压±30V的条件下,可以实现0.9216μm的悬臂自由端位移和19.638kHz的谐振频率.

• 单位
  摩擦学国家重点实验室