浅析多次等离子清洗对引线键合质量可靠性的影响

作者：李翔; 崔卫兵; 张进兵

来源：中国集成电路, 2022, 31(10): 85-89.

• 等离子清洗
• 可靠性

本文介绍了等离子清洗工艺的基本原理和影响清洗效果的相关因素，通过不同表面材质的引线框架等离子清洗实验，浅析了引线框架经过多次等离子清洗对引线键合质量的影响，分析结论对提高封装产品的可靠性提供了相应的参考依据。

• 单位
  天水华天科技股份有限公司