泛林集团CTO与魏少军教授谈半导体制造的挑战

作者：王莹

来源：电子产品世界, 2018, 25(10): 82-83.

<正>近日,泛林集团技术研讨会(Lam Research Technical Symposium)在清华大学举行,泛林集团(Lam Research)执行副总裁兼首席技术官Richard A.Gottscho博士和清华大学微电子学研究所所长魏少军教授向电子产品世界编辑介绍了下一代半导体制造业的挑战。