QMEMS晶振的MEMS器件真空度测量方法研究

作者：王珊珊; 宋亮; 党向婷

来源：国外电子测量技术, 2014, 33(01): 27-31.

DOI：10.19652/j.cnki.femt.2014.01.014

• QMEMS
• 石英晶振
• 真空度测量
• 谐振阻抗

QMEMS晶振是一种采用MEMS(micro-electro-mechanical system)加工技术充分发挥石英(Quartz)晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振。利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点,提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部,对MEMS器件腔体内部真空度进行实时监测的方法。在对石英晶振测量真空原理进行分析的基础上,研究了QMEMS晶振的结构和管壳开口方法,设计了一套基于QMEMS晶振气压传感器的真空度测量系统,实现了对真空度的测量,并对系统进行了标定。试验表明,该真空计可实现130kPa压强范围的测量,测量精度约为5%,能满足MEMS器件实时真空度测量要求。

• 单位
  西安工业大学北方信息工程学院; 西安机电信息技术研究所